工（gōng）業（yè）空氣過濾器在半導體（tǐ）企業的應（yīng）用

　　半導體廠對生產環境潔淨程度非（fēi）常（cháng）挑剔，對（duì）空氣過濾器的要求也越來越苛刻，而在半導體廠，半導體廠用空氣過濾器起著非常（cháng）重要的作用，是不可缺少的，下麵由北（běi）方濾（lǜ）器為大家（jiā）講（jiǎng）解工業空氣過濾器（qì）在半導體企業的應用：

　　空（kōng）氣中海（hǎi）鹽（yán）粒子（zǐ）是（shì）所（suǒ）有電子工業的大敵（dí），但（dàn）空氣中海鹽粉塵顆粒（lì）比較大，普通過濾器就能將其過濾（lǜ）掉（diào）。有人說搞電子工業（yè）理想地點應該（gāi）遠離（lí）海岸（àn），可沿海地區（qū）經濟發達，芯片廠（chǎng）一窩蜂似的（de）就建在了沿海地區（qū），在過濾器上多花點錢就是了。

　　活性炭過濾器過濾（lǜ）等（děng）級技術可以將潔淨室的粉塵濃度降到近乎為零，你想要多幹淨都能達到。當芯片上的線寬小到0.5mm時，人們發現空氣中的化學汙染物成了影響成品率的主要危害，於是，在線寬小於0.5mm的芯片（piàn）廠空調（diào）係統中普遍配置了精密空氣過濾器。精密空氣過濾器的原理和製造工藝並不複雜，它就是活性炭過濾器，但傳統的活性炭過濾器製造廠和軍工廠沒有搭上芯片廠這班車，芯片廠的深（shēn）圳活性炭過濾（lǜ）器大都是空調過（guò）濾器的製（zhì）造廠家提供的。

　　化（huà）學汙染物的來源可能是：室外（wài）空氣、工藝本（běn）身、人、裝修材料。多數情（qíng）況下，設計師和現場人員也說不清汙染物的種類和濃度，因（yīn）此，為他們提供的化學過濾器至少應具有兩個特點：廣譜吸附性能、足（zú）夠多的活性（xìng）炭材料。所謂廣譜吸附就（jiù）是（shì）對什麽都能多少吸附（fù）些，能有這種功能（néng）的就（jiù）是普通、便宜的顆（kē）粒（lì）活性炭。如果能確定汙染物種（zhǒng）類，就可以對活性炭材料進行（háng）有針（zhēn）對性的化學處理，以增強對特定汙染物的吸附能力。過（guò）濾器供應商有時還要提供（gòng）相應（yīng）的現場檢測服務，以幫助用（yòng）戶確定（dìng）反滲透過濾器的使用情況，這就要求供應商中有搞（gǎo）化學過濾的有經驗的人（rén），並與名氣大的化學實驗室有密切的關係。

　　半導體工業並不是人們普遍認為的“無煙工業”，也就是說它也是有環境問題的，稍不小心就會造（zào）成嚴重的化（huà）學汙染。因此，為了保險起見，半導體廠一般都會使用空氣過濾（lǜ）器。

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